VCM 모듈 상.하면 검사기는 VCM 모듈에 렌즈와 IR Cut Filter가 부착된 이후에
렌즈면의 이물과 IR Cut Filter의 상·하면에 부착된 이물이나 스크래치 등을 검사하는 장비입니다.
특히 체결된 VCM 렌즈를 조명 광학계 중 일부로 활용하고, VCM 렌즈의 주광선 출사각과 검사광학계의 주광선 입사각을 일치시키는 신개념(특허 출원 중)의 광학계를 구성하였습니다. 통상적인 방법에 비해 VCM모듈 내에 있는 비구면 렌즈로 부터 반사되는 제어할 수 없는 배경 노이즈를 근본적으로 차단하여
IR Filter 와 Blue Filter의 양면을 정밀하게 검사 할 수 있습니다. 이러한 검사를 위한 광학 분해능은 2.5μm, 픽셀 분해능은 1.75um로서 신뢰성이 보장되는 검출 능한 최소 이물크기는 5μm입니다.