项目​

 说明​

 单件产品的生产时间​

 1.2 sec/ea

 UPH

1,904

(At 85% operational rate, at 75% chance of getting good items)

 每日生产性​ (20hr)

 40,000

 每月生产性​ (25days)

 1,000,000

检查用照相机​

 25M区域探测​

 装载/卸载

 Auto​

 Magazine​

 检查​

 检查资料​

IR去除过滤器/蓝色过滤器​

 IR

 缺陷项目​

 刨伤/剖伤/划伤*/污迹*​

 正确性​

 7.0 µm

 分辨率​

 2.25 µm / Pixel

 IR Disk尺寸​

 160 x 160 mm

 视野范围​

 11.37 x 11.37 mm

 N.G 运转​

 N.G 地图数据​

 N.G 地图数据生成​

 Utility

EFU

离子风机(Ion Blower)

 ULPA@0.1um 9.9.9999%

​Effect Dis. 100~ 2000mm

尺寸

( W x D x H )

1,440 x 1,160 x 1,900mm

 重量​

1,500 kg

(电源)Power​

220V, 单相(Single Phase)​

供气(Air Supply)​

4~5kgf/cm2

 * 划伤 / 污迹 : 请务必与客户进行商议.​