VCM 검사기

VCM Inspection Machine

VCM 모듈 상.하면 검사기는 VCM 모듈에 렌즈와 IR Cut Filter가 부착된 이후에 IR Cut Filter의 상·하면에 부착된 이물이나 스크래치 등을 검사하는 장비입니다.

특히 체결된 VCM 렌즈를 조명 광학계 중 일부로 활용하고, VCM 렌즈의 주광선 출사각과 검사광학계의 주광선 입사각을 일치시키는 신개념(특허 출원 중)의 광학계를 구성하였습니다. 통상적인 방법에 비해 VCM모듈 내에 있는 비구면 렌즈로 부터 반사되는 제어할 수 없는 배경 노이즈를 근본적으로 차단하여

IR Filter 와 Blue Filter의 양면을 정밀하게 검사 할 수 있습니다. 이러한 검사를 위한  광학 분해능은 2.5μm, 픽셀 분해능은 1.75um로서  신뢰성이 보장되는 검출 능한 최소 이물크기는 5μm입니다.

특징

• -렌즈 및 IR Cut Filter 부착 후, IR Filter의 상·하면 이물 검사

• -IR Cut Filter, Blue Filter 공용 사용

• -메거진 to 메거진, 인덱스 구조

• -석정반 베이스에 DDR 모터와 리니어모터 적용

• -출하 Tray에 적재 가능

• -이물최소화 기구 설계 적용

Specification